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日立高新超高分辨率電子顯微鏡SU9000陽極氧化鋁的觀察實例

2015-01-08 作者: 瀏覽數:1579

    日立2011年推出了SU9000超高分辨冷場發射掃描電鏡,達到掃描電鏡世界最高二次電子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采用了全新改進的真空系統和電子光學系統,不僅分辨率性能明顯提升,而且作為一款冷場發射掃描電鏡甚至不需要傳統意義上的Flashing操作,可以高效率的快速獲取樣品超高分辨掃描電鏡圖像。
     陽極氧化鋁具有優異的(de)耐腐蝕性和(he)耐磨(mo)性,因(yin)而被(bei)廣泛應用(yong)(yong)于(yu)家庭用(yong)(yong)品(pin)和(he)工業(ye)用(yong)(yong)品(pin)上的(de)薄膜中(zhong)。 最近,其規則排列的(de)二維細孔被(bei)期待用(yong)(yong)于(yu)制(zhi)作納(na)米線的(de)組(zu)建模具。

    本例使(shi)用(yong)日(ri)立高新電子顯微鏡SU9000觀察(cha)陽(yang)極氧(yang)化(hua)鋁。 左(zuo)圖(tu)的SE圖(tu)像可看出細孔是隨機排列的,而(er)從(cong)右圖(tu)的SE圖(tu)像可以確認到約0-30nm的細孔。

 

提供樣品方:關西大學 系統理工學部 新(xin)宮原 正三先生

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