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日本電子推出分辨率達63pm的透射電鏡JEM-ARM300F

2014-10-28 作者: 瀏覽數:1357

   日前,JEOL宣布推出新型原子分辨率電鏡JEM-ARM300F。

  透射(she)電鏡一(yi)直以(yi)來是材(cai)料(liao)(liao)研(yan)發(fa)當中(zhong)進行微觀結構分(fen)析的重要工具(ju)。然而,隨著納(na)米級或原子水平的先進材(cai)料(liao)(liao)的研(yan)發(fa),針對這類材(cai)料(liao)(liao)的合成(cheng)研(yan)究越來越需要高分(fen)辨率的成(cheng)像和(he)分(fen)析技(ji)術(shu)。

  為了(le)滿足(zu)這(zhe)種(zhong)(zhong)需求,日(ri)本電(dian)子(zi)(zi)一直聚焦(jiao)于推(tui)(tui)出帶有球(qiu)差校正器(qi)的(de)(de)(de)(de)透射電(dian)鏡(jing)技術來超越(yue)目(mu)前(qian)的(de)(de)(de)(de)分(fen)(fen)(fen)辨率極限。在2009年,日(ri)本電(dian)子(zi)(zi)推(tui)(tui)出了(le)JEM-ARM200F,200kV的(de)(de)(de)(de)透射電(dian)鏡(jing),采(cai)用了(le)球(qiu)差校正技術,分(fen)(fen)(fen)辨率達到了(le)80pm(STEM成像),這(zhe)是首臺(tai)達到如此高的(de)(de)(de)(de)分(fen)(fen)(fen)辨率的(de)(de)(de)(de)商品化電(dian)鏡(jing)。為達到原子(zi)(zi)分(fen)(fen)(fen)辨率水平,JEM-ARM200F整合各種(zhong)(zhong)功能(neng)來確保高度穩定的(de)(de)(de)(de)性能(neng)。目(mu)前(qian),已有超過100臺(tai)ARM200F安(an)裝在世界各地,許多研(yan)究人員對于電(dian)鏡(jing)原子(zi)(zi)水平的(de)(de)(de)(de)成像和(he)分(fen)(fen)(fen)析非(fei)常熟悉。

  同時,隨著(zhu)像差校正(zheng)(zheng)器的廣泛使用,用戶(hu)對于透射電(dian)鏡又涌現出各種各樣(yang)新的需求(qiu),除了高(gao)分(fen)(fen)辨率,還有高(gao)分(fen)(fen)析(xi)靈(ling)敏度、原位分(fen)(fen)析(xi)、靈(ling)活的加速電(dian)壓(ya)控制(zhi),和像差校正(zheng)(zheng)的易操作性。

  因而,JEOL研發了JEM-ARM300F,可以說是JEM-ARM200F的(de)升級版,300kV的(de)原子分(fen)(fen)(fen)辨(bian)率(lv)(lv)透射電鏡,采用(yong)(yong)日本電子自有(you)的(de)像差校正技術。JEM-ARM300F的(de)又被稱作“GRAND ARM”,分(fen)(fen)(fen)辨(bian)率(lv)(lv)可達63pm(STEM分(fen)(fen)(fen)辨(bian)率(lv)(lv))。GRAND ARM可以(yi)根據(ju)用(yong)(yong)戶的(de)需求用(yong)(yong)于超高分(fen)(fen)(fen)辨(bian)率(lv)(lv)成像,或高靈敏度的(de)分(fen)(fen)(fen)析(xi)應用(yong)(yong),以(yi)及原位分(fen)(fen)(fen)析(xi)。

  該(gai)儀器主(zhu)要的目標用戶(hu)是研究機構或半導體制造商。

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